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雜志簡介中科院分區 JCR分區 CiteScore 發文統計通訊方式相關雜志期刊導航

Journal Of Vacuum Science & Technology A 雜志簡介

《Journal Of Vacuum Science & Technology A》重點專注發布材料科學：膜-工程技術領域的新研究，旨在促進和傳播該領域相關的新技術和新知識。鼓勵該領域研究者詳細地發表他們的高質量實驗研究和理論結果。該雜志創刊至今，在材料科學：膜-工程技術領域，有較高影響力，對來稿文章質量要求較高，稿件投稿過審難度較大。歡迎廣大同領域研究者投稿該雜志。

Journal Of Vacuum Science & Technology A 雜志中科院分區

中科院SCI分區數據

中科院SCI期刊分區（2023年12月升級版）

大類學科	分區	小類學科	分區	Top期刊	綜述期刊
材料科學	3區	MATERIALS SCIENCE, COATINGS & FILMS 材料科學：膜 PHYSICS, APPLIED 物理：應用	3區 3區	否	否

中科院SCI期刊分區（2022年12月升級版）

大類學科	分區	小類學科	分區	Top期刊	綜述期刊
材料科學	2區	MATERIALS SCIENCE, COATINGS & FILMS 材料科學：膜 PHYSICS, APPLIED 物理：應用	3區 3區	否	否

中科院SCI期刊分區（2021年12月舊的升級版）

大類學科	分區	小類學科	分區	Top期刊	綜述期刊
材料科學	3區	MATERIALS SCIENCE, COATINGS & FILMS 材料科學：膜 PHYSICS, APPLIED 物理：應用	3區 3區	否	否

中科院SCI期刊分區（2021年12月基礎版）

大類學科	分區	小類學科	分區	Top期刊	綜述期刊
工程技術	4區	MATERIALS SCIENCE, COATINGS & FILMS 材料科學：膜 PHYSICS, APPLIED 物理：應用	4區 4區	否	否

中科院SCI期刊分區（2021年12月升級版）

大類學科	分區	小類學科	分區	Top期刊	綜述期刊
材料科學	3區	MATERIALS SCIENCE, COATINGS & FILMS 材料科學：膜 PHYSICS, APPLIED 物理：應用	3區 3區	否	否

中科院SCI期刊分區（2020年12月舊的升級版）

大類學科	分區	小類學科	分區	Top期刊	綜述期刊
材料科學	2區	MATERIALS SCIENCE, COATINGS & FILMS 材料科學：膜 PHYSICS, APPLIED 物理：應用	2區 3區	否	否

中科院分區趨勢圖

影響因子趨勢圖

中科院JCR分區：中科院JCR期刊分區（又稱分區表、分區數據）是中國科學院文獻情報中心世界科學前沿分析中心的科學研究成果，是衡量學術期刊影響力的一個重要指標，一般而言，發表在1區和2區的SCI論文，通常被認為是該學科領域的比較重要的成果。

影響因子：是湯森路透(Thomson Reuters)出品的期刊引證報告(Journal Citation Reports,JCR)中的一項數據，現已成為國際上通用的期刊評價指標，不僅是一種測度期刊有用性和顯示度的指標，而且也是測度期刊的學術水平，乃至論文質量的重要指標。

Journal Of Vacuum Science & Technology A 雜志JCR分區

Web of Science 數據庫（2023-2024年最新版）

按JIF指標學科分區	收錄子集	分區	排名	百分位
學科：MATERIALS SCIENCE, COATINGS & FILMS	SCIE	Q3	13 / 23	45.7%
學科：PHYSICS, APPLIED	SCIE	Q3	96 / 179	46.6%

按JCI指標學科分區	收錄子集	分區	排名	百分位
學科：MATERIALS SCIENCE, COATINGS & FILMS	SCIE	Q3	12 / 23	50%
學科：PHYSICS, APPLIED	SCIE	Q2	88 / 179	51.12%

Journal Of Vacuum Science & Technology A CiteScore 評價數據（2024年最新版）

CiteScore：5.1
SJR：0.569
SNIP：0.957

CiteScore 排名

學科類別	分區	排名	百分位
大類：Physics and Astronomy 小類：Condensed Matter Physics	Q2	135 / 434	69%
大類：Physics and Astronomy 小類：Surfaces and Interfaces	Q2	19 / 57	67%
大類：Physics and Astronomy 小類：Surfaces, Coatings and Films	Q2	45 / 132	66%

CiteScore趨勢圖

年發文量趨勢圖

CiteScore：是由Elsevier2016年發布的一個評價學術期刊質量的指標，該指標是指期刊發表的單篇文章平均被引用次數。CiteScore和影響因子的作用是一樣的，都是可以體現期刊質量的重要指標，給選刊的作者了解期刊水平提供幫助。

Journal Of Vacuum Science & Technology A 雜志發文統計

文章名稱引用次數
Review Article: Stress in thin films and coatings: Current status, challenges, and prospects72
Status and prospects of plasma-assisted atomic layer deposition26
Practical guides for x-ray photoelectron spectroscopy: First steps in planning, conducting, and reporting XPS measurements23
Functional model for analysis of ALD nucleation and quantification of area-selective deposition19
Review Article: Catalysts design and synthesis via selective atomic layer deposition16
Paradigm shift in thin-film growth by magnetron sputtering: From gas-ion to metal-ion irradiation of the growing film14
Review Article: Atomic layer deposition for oxide semiconductor thin film transistors: Advances in research and development14
Atomic layer deposition of silicon-based dielectrics for semiconductor manufacturing: Current status and future outlook13
Review Article: Crystal alignment for high performance organic electronics devices12
Vapor-deposited octadecanethiol masking layer on copper to enable area selective Hf3N4 atomic layer deposition on dielectrics studied by in situ spectroscopic ellipsometry11
國家/地區發文量
USA368
Japan77
GERMANY (FED REP GER)61
South Korea56
France44
Sweden33
CHINA MAINLAND31
England29
Finland26
Netherlands26
機構發文發文量
UNITED STATES DEPARTMENT OF ENERGY (DOE)58
CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE (CNRS)30
UNITED STATES DEPARTMENT OF DEFENSE26
LINKOPING UNIVERSITY25
UNIVERSITY OF ILLINOIS SYSTEM24
UNIVERSITY OF CALIFORNIA SYSTEM20
CEA18
UNIVERSITY OF TEXAS SYSTEM17
UNIVERSITY SYSTEM OF MARYLAND17
LAM RESEARCH CORPORATION16

Journal Of Vacuum Science & Technology A 雜志社通訊方式

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