《Journal Of Vacuum Science & Technology B》雜志的影響因子為1.5。
影響因子：是湯森路透(Thomson Reuters)出品的期刊引證報告(Journal Citation Reports,JCR)中的一項數據，現已成為國際上通用的期刊評價指標，不僅是一種測度期刊有用性和顯示度的指標，而且也是測度期刊的學術水平，乃至論文質量的重要指標。
以下是如何查看影響因子的幾種方法：
一、通過專業數據庫查詢
1. 通過Web of Science數據庫查詢：Web of Science是一個權威的學術數據庫，提供期刊影響因子的官方數據。
2.中國知網（CNKI）：在CNKI中，用戶可以通過期刊導航功能搜索目標期刊，并在期刊詳情頁面查看其影響因子。
3.使用JCR：JCR是專門提供期刊引證報告的工具，隸屬于Web of Science。
二、查閱學術期刊官方網站
許多學術期刊會在其官方網站上公布最新的影響因子數據。
三、參考學術權威指南和排名
影響因子是一個動態變化的指標，會隨著時間的推移而發生變化。因此，在查看影響因子時，需要關注其發布的時間點。
《Journal Of Vacuum Science & Technology B》雜志創刊于1991年，由A V S AMER INST PHYSICS出版商出版，出版周期為Bimonthly，國際簡稱為J VAC SCI TECHNOL B，中文名稱真空科學與技術學報B。該雜志旨在及時、準確、全面地報道國內外工程技術-工程：電子與電氣領域取得的最新研究成果、工作進展及學術動態、技術革新等，促進學術交流，鼓勵學術創新。
《Journal Of Vacuum Science & Technology B》雜志分區情況
中科院分區：在中科院最新升級版分區表中，大類學科工程技術位于4區，小類學科ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC工程：電子與電氣位于4區。
JCR分區：根據最新JCR分區， 按JIF指標學科分區中學科：ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC，位于Q3區，排名252 / 352，百分位28.6%；NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY，位于Q4區，排名115 / 140，百分位18.2%；PHYSICS, APPLIED，位于Q3區，排名134 / 179，百分位25.4%； 按JCI指標學科分區中學科：ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC，位于Q4區，排名278 / 354，百分位21.61%。NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY，位于Q4區，排名115 / 140，百分位18.21%。PHYSICS, APPLIED，位于Q4區，排名145 / 179，百分位19.27%。
投稿咨詢| 按JIF指標學科分區 | 收錄子集 | 分區 | 排名 | 百分位 |
| 學科：ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC | SCIE | Q3 | 252 / 352 |
28.6% |
| 學科：NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY | SCIE | Q4 | 115 / 140 |
18.2% |
| 學科：PHYSICS, APPLIED | SCIE | Q3 | 134 / 179 |
25.4% |
| 按JCI指標學科分區 | 收錄子集 | 分區 | 排名 | 百分位 |
| 學科：ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC | SCIE | Q4 | 278 / 354 |
21.61% |
| 學科：NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY | SCIE | Q4 | 115 / 140 |
18.21% |
| 學科：PHYSICS, APPLIED | SCIE | Q4 | 145 / 179 |
19.27% |
《Journal Of Vacuum Science & Technology B》雜志評價數據
影響因子：1.5
Gold OA文章占比：16.37%
年發文量：197
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